上海三研 SYSC-100型高精度程控勻膠機 Spin Coater

1. 產品應用

      SYSC-100型勻膠機（Spin Coater），是新一代旋轉塗膜設備，具有速度精度高，主動式速度調控、勻膠過程多段程序控

  制等特點。主要用於微電子、半導體、製版、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面塗膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光

  阻塗覆、生物功能塗層的制備。

1. 產品特點

1. 機身外殼採用SUS304不鏽鋼製作，防腐蝕、不生鏽、易清潔。
2. 真空室採用316L耐腐蝕不鏽鋼製作，防止長期使用過程中膠液的侵蝕。
3. 接膠盤為PP材料經精加工製作而成，接儲脫離基片的膠液，避免進入設備內部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。
4. 旋轉台採用鋁材製作，表面經過硬質氧化處理，耐摩擦同時避免划傷基片底部。防止膠液的腐蝕。
5. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程 可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。
6. 4.3英吋液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
7. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間” 為99s，確保基片牢固吸附于旋轉台后再進行旋轉塗膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間” 為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止塗膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
8. 採用精密穩定的直流電機及驅動器，旋轉速度採用主動控制方式，區別於老舊的被動測速控制方式，從而使旋轉速度更精確。
9. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉台，防止飛片。

1. 技術參數

1. 旋塗速度：400～8000 rpm
2. 轉速調節精度：1rpm
3. 每段加速時間：1～99 s
4. 每段勻膠時間：1～99 s
5. 預吸片時間：1～99 s
6. 解吸片時間：1～99 s
7. 鍍膜尺寸：5-100mm
8. 真空泵抽氣速率：60L/min